石墨发热体以及晶体生长炉
2022/4/11 15:15:57
石墨发热体以及晶体生长炉
【实用新型专利】 【事务数据】
授权公告号:CN209323034U
授权公告日:2019.08.30
申 请 号:2019200044968
申 请 日:2019.01.02
专 利 权人:伯恩露笑蓝宝石有限公司
地 址:028000内蒙古自治区通辽市科尔沁区木里图镇工业园区
发 明 人:郭飞;滑喜宝;陈真宏
Int.Cl. C30B17/00(2006.01)I
专利代理机构:北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371
代 理 人:赵志远
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摘 要:本实用新型公开一种石墨发热体以及晶体生长炉,包括石墨本体以及至少两个电极部,其中,石墨本体包括加热底壁和加热侧壁。加热侧壁包括至少四个加热侧板,至少四个加热侧板中的每两个加热侧板构成一个侧壁加热部,加热底壁包括至少两个加热底板,至少两个加热底板中的每一个加热底板相互间隔,相邻两个侧壁加热部的第二端通过加热底板连接。至少两个电极部分别设置于不同的侧壁加热部上。本申请的技术方案可以用于解决KY长晶工艺成本高的问题。